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マニピュレータ　Add-onツール

SEMCAM / RT-STEM / STA / EBIC - RCI

マイクロマニピュレータのAdd-onツールです。マニピュレータと併用することで、操作性を向上することや、機能を拡張することが出来ます。
SEM-CCDカメラ(SEMCAM)やローテーター(RT-STEM)は、単体のみの使用も可能です。

SEM/FIBの試料室内に設置し、マニピュレータのプローブ針先端と試料表面を観察します。
SEMCAMは単体のみの使用も可能です。
　
先端に保持した試料を回転(フリップ)します。
RT-STEMは単体のみの使用も可能です。
プローブ針のサンプル表面へのコンタクトを簡単にします。サンプル表面へ与えるダメージとアプローチにかかる時間を短縮できます。
　
マニピュレータと併用することで、EBIC像(Electron Beam Induced Current：電子線誘起電流)やRCI(Resistive Contrast Image：吸収電流像)を得られます。
　
製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
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