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マニピュレータ　Plug-inツール

MGS2 / ROTIP / LCMK / M4PP / FMS / MIS

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マイクロマニピュレータ(MM3A)の先端に取付けられるPlug-inツールです。用途に応じて付け足すことで、マニピュレータの動作軸や機能を拡張することが出来ます。

 

グリッパー(ピンセット)を保持し、サブμm～数μmの試料をグリップします。
　
回転軸を加えることができます。先端は360°無制限に回転します。
◆マニピュレーション
◆試料の裏面・3次元観察
◆プローブ針のクリーニング, アトムプローブ試料作製, バックサイドミリング(FIB)
マニピュレータ(MM3A)のプロービング機能をアップグレードし、より高感度な測定が行います。
◆プロービング
◆EBIC, RCI(吸収電流像)
　
ピッチ間隔5～30μmの4端子プローブを保持します。1台のマニピュレーターで4端子測定を行います。
◆プロービング
◆4端子測定
フォースセンサー(自己検知型カンチレバー)を保持し、SEM内で微小領域の応力・引張り測定を行います。
　
低真空SEM内で、液体やガスを任意の領域に注入します。
　
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