EBIC, RCIアンプモジュール　（EBIC-RCI）

　EBIC像(Electron Beam Induced Current：電子線誘起電流)やRCI(Resistive Contrast Image：吸収電流像)を得るためのアンプモジュールです。EBIC像,RCI像の取得には、2台のマニピュレータと1台の微小電流測定キット(LCMK)との組合せが必要です。誘起電流または吸収電流は、マニピュレータが保持したLCMKを経由してアンプモジュールに入力されます。アンプモジュールはSEMの外部入力端子に接続され、SEMのディスプレイ上にEBIC像またはRCI像を表示します。
　EBIC像ではp-n接合の可視化や、試料の結晶欠陥の観察が可能です。RCI像では回路内のオープン箇所の特定などに有効です。