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「フォースメジャーシステム」(FMS)は、マニピュレータのPlug-inツールのひとつで、力(押し込み/引張り)の読み取りを行います。 FMSは「フォースセンサー(自己検知型カンチレバー)」(FMT)、「FMT用プラグインホルダ」、「コントローラ」、「ソフトウェア」から構成されます。 SEM観察をしながらマニピュレータを操作し、FMT先端を試料に押し込み/引張りをします。FMTの変位を電圧としてコントローラに出力し、ソフトウェアでForce-timeカーブを表示・レコーディングします。SEM内で高倍率観察できることから、微小サンプルや局所領域にセンサーTipを接触させることが可能です。 |
| 【アプリケーション】 | ||
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● 応力・引張り測定 |
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