微小電流測定キット（LCMK） - AD SCIENCE －株式会社アド・サイエンス

「微小電流測定キット」（LCMK）は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。

「マイクロマニピュレータ」（MM3A-EM）単体でもプロービングが可能ですが、LCMKは信号ラインをMM3A-EM駆動用のラインと分離し、かつTriaxケーブルを用いることで、内部抵抗やノイズを改善し、より高感度な測定を可能にします。

（電流検出限界　MM3A-EM単体=10nA　⇔　LCMK=1pA）
「Prober Shuttle」（PS4）には、LCMKが標準組込みされています。

・Kleindie社総合カタログ（マイクロマニピュレータ）

アプリケーション

●　プロービング（微小電流・容量測定）
●　EBIC（Electron Beam Induced Current）
●　RCI （Resistive Contrast Image：吸収電流像）


ナノプロービング	EBIC

紹介動画

[Probing experiment inside an SEM]

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