LT6820シリーズ - AD SCIENCE －株式会社アド・サイエンス

●　可動範囲　20mm

●　動作軸　[ XY / XYZ ]

●　エンコーダー有り（クローズループ）

●　繰返し精度　100nm

●　超高真空（UHV）モデル有り

LT6820 仕様

サイズ	XY モデル：68×68×26 mm XYZ モデル：68×68×50 mm ＋15 mm 駆動
可動範囲	X= 20 mm、Y= 20 mm、Z= 15 mm
分解能	XYZ < 0.05 nm
繰返し精度	100 nm　※サブステージの角度偏差によるエンコーダからの作動距離による。

Kleindiek社＜マイクロマニピュレータ・サブステージ＞

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