LT6820シリーズ

kle_lt6820_200
◆可動範囲　20mm
◆動作軸　[XY / XYZ]
◆エンコーダー有り(クローズループ)
◆繰返し精度　100nm
◆超高真空(UHV)モデル有り

　サイズ 　・XYモデル：68 x 68 x 26mm
　・XYZモデル：66 x 66 x 50mm + 15 mm駆動
　可動範囲 　X = 20 mm、Y = 20 mm、Z = 15 mm
　分解能 　XYZ = 0.5 nm
　繰返し精度 　100 nm

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