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「マイクログリッパー」（MGS2-EM）は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつです。マイクロサイズの試料を摘み、移動・引張り・組立てなどを可能にします。試料の形状にもよりますが、サブμm～20μm程度の試料に適しています。 グリッパーの2本のアームはタングステン針からなり、先端が面接触になるようにFIBで加工されています。用途に合ったカスタムシェイプも可能です。 |
| 開閉制御にはピエゾが用いられ、開閉のステップ分解能は20nmと非常に細かいため、繊細な試料への接触ができます。また最大で5000μNの高保持力を有します。 グリッパーは1本のプローブ針と見なすこともできます。一例として、2台のマニピュレータそれぞれにグリッパーを付け、ナノワイヤーの両端を掴み、2点間の抵抗値測定などが行えます。 |
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| 【アプリケーション】 | ||
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● マニピュレーション ● FIB法 TEM 試料のリフトアウト ● プロービング |
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| ナノマニピュレーション | TEM試料のリフトアウト | ナノプロービング |
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