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クライオトランスファーシステム
● 迅速な試料交換
● 最低温度-190℃、温度安定性0.5℃以内
● offカラム冷却タイプで終日運転が可能
● 独立タイプの冷却ステージと冷却トラップ
● 真空や不活性ガス封じした状態で試料移動
● 試料急速冷却オプション
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Cool Lokで、SEMやFIB/SEM、ビームライン、その他の真空装置で試料のクライオ観察や迅速な搬送が可能です。アプリケーションとしてはビームに敏感な 試料の熱保護、プラスチック、ポリマー、Low-Kの誘電体や硬軟複合材料などの低温観測ができます。また、このシステムでは常温下で不活性ガス用グロー ブボックスから試料の搬送も可能です。 |
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● システム構成 [真空エアーロックと冷却ガスフィードスルー] Cool Lokは排気、ベント、搬送制御がローディングチャンバー本体にあり、それを真空装置の任意のポートに取付けます。真空チャンバーに取り付けるカスタムデザインのインターフェースフランジ、コネクション、排気に必要なフィッティングは付属します。インターフェースにはSEMチャンバー内の冷却ステージや冷却トラップへの冷却窒素ガス接続があります。 |
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● 試料ホルダー、トランスファーデバイス コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー（シャトル）が簡単に脱着できます。標準のシャトル以外にもオプションの試料ホルダーが取付けられます。 |
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● 冷却用デューワー、台車、コントローラ 冷却ステージや冷却トラップは別置きの真空断熱タイプ熱交換器と長時間運転可能な21Lデュワーによって冷却されます。デューワーとSEMインターフェース間のガラスインは熱効率が最大になるように真空断熱されています。 冷却デューワーは床置きの台車上にあり、そのコンソールには冷却ステージや冷却トラップ、モニター、ガスフローコントローラーなど収納されています。 |
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● Cool Lokの使用方法 試料をスタブにセットしホルダー（シャトル）に乗せてトランスファーデバイスに取付け、エアーロックにアタッチし内部を排気します。排気が終了するとゲートバルブを開け、試料をSEM内の冷却ステージに搬送します。他の真空装置やグローブボックスの搬送用にオプションでインターフェースフランジの用意もあります。またトローリーマウント窒素スラッシュ冷却ステーションもオプションでご用意あります。 |
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● 排気装置 排気装置としてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、高真空ターボ分子ポンプステーション（推奨）が必要です。 ・Pfeiffer Duo 6：5m3/hrオイルミストフィルタ付ロータリーポンプ ・Pfeiffer HiCube 80：ターボ分子ポンプおよびダイヤフラムポンプ |
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＜ 主な仕様 ＞
・窒素ガス冷却タイプ温度センサー付冷却ステージおよび冷却トラップ
・温度制御範囲：-190℃
・21L台車付きデュワー
・真空断熱タイプ熱交換器
・エアーロックアッセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）
・排気装置接続部品
・SEMチャンバー接続用カスタムデザインフランジ
・LEDチャンバーライト
・真空装置、不活性ガス対応試料搬送用トランスファーデバイス
【オプション＆アクセサリ】
・PP3006専用窒素スラッシュ冷却ステーション
トランスファーデバイスアタッチ用液体窒素冷凍チャンバー付台車
・ステージおよびトラップ冷却窒素ガス供給用液体窒素加圧デューワー（60L）
・Sircal インラインガス乾燥器
外部からのガスを使用している場合：供給窒素ガス乾燥に使用
・PP3010TとPP3006用の試料ホルダーが共通で使用できます
Quorum Technologies社 ハイブリットコーター（スパッター・カーボンコーター）・クライオSEMシステム
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