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「ローテーター」(ROTIP)は、マニピュレータの先端に取付けられるPlug-inツールのひとつで、先端に回転(フリップ)軸を追加します。 ROTIPの先端にはプローブ針やグリッドホルダなどを保持できます。同じPlug-inツールである「グリッパー」や「フォースメジャーシステム」のフォースセンサーなどを保持して、組合わせることも可能です。 |
| マニピュレータの先端を回転することで、ピックアップした試料の裏面観察や3次元STEM観察などが行えます。FIBで使用することで、プローブ針の再先鋭化(クリーニング)やTEM試料のバックサイドミリング,アトムプローブ試料作製などに応用可能です。 | |
| 【アプリケーション】 | ||
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● マニピュレーション ● 試料の裏面・3次元観察 ● プローブ針のクリーニング, アトムプローブ試料作製, バックサイドミリング(FIB) |
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| ナノマニピュレーション | ||
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