高真空対応カメラ（SEMCAM）

　「真空対応カメラ」(SEMCAM)は高真空に対応した小型カメラで、SEM/FIBの試料室内に設置されます。「カメラヘッド」、「LED照明」、「コントローラ」、「卓上LCD」から構成されます。SEMCAMはスタンドアロン装置ですが、マニピュレータと併用することで、試料表面へのアプローチを補助します。
　試料とプローブ針先端を、数mm視野に拡大し、横から観察することで、試料-プローブ間の距離を把握でき、速い動作スピードで一気に試料表面までプローブ針を近づけられるため、SEM観察に移行してからアプローチにかかる時間を短縮できます。SEMは俯瞰映像のため、側面からのカメラ観察はマニピュレータの操作性を向上します。
　プローブ針と対物レンズとの位置関係を見ることもできるため、対物レンズなど周辺機器への接触事故を防ぐことにも役立ちます。

　またSEMCAMは単体のみの使用も可能です。画角とフォーカスのマニュアル調整ができるため、チャンバースコープのように広い範囲の観察も可能です。カメラヘッドが非常に小さく、狭い空間への設置が可能です。