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マニピュレータ Add-onツール

SEMCAM / RT-STEM / STA / EBIC - RCI

マイクロマニピュレータのAdd-onツールです。マニピュレータと併用することで、操作性を向上することや、機能を拡張することが出来ます。
SEM-CCDカメラ(SEMCAM)やローテーター(RT-STEM)は、単体のみの使用も可能です。

先端に保持した試料を回転(フリップ)します。
RT-STEMは単体のみの使用も可能です。
 
プローブ針のサンプル表面へのコンタクトを簡単にします。サンプル表面へ与えるダメージとアプローチにかかる時間を短縮できます。
マニピュレータと併用することで、EBIC像(Electron Beam Induced Current:電子線誘起電流)やRCI(Resistive Contrast Image:吸収電流像)を得られます。
 
 
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