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EBIDとIBID

電子ビーム誘起蒸着法（EBID）とイオンビーム誘起蒸着法（IBID）は、SEMやFIB顕微鏡システムで様々な材料を蒸着するための一般的なアプリケーションです。
材料を蒸着するためには、前駆体ガスをチャンバー内に導入する必要があります。これには、ガスインジェクションシステム（GIS）が使用されます。

 

イメージ

 


ガスインジェクション（GIS）


 


 






 

 

紹介動画

 


[GIS-EM Plug-in for the MM3A-EM Micromanipulator]

 

 

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