アトムプローブトモグラフィーの試料作成

アトムプローブトモグラフィー（APT）のサンプルに必要な鋭いな先端形状は、通常、集束イオンビーム（FIB）を用いた環状のミリングパターンで製造されます。
しかし多くの場合、この方法ではチップの形状、特にシャンクの角度を十分に制御することができません。また、多層構造のサンプルでは、特に材料の硬さが異なる場合に、各層のミリングレートが不均一になることがあります。また、イオンビームで加工すると帯電しやすい非導電性の素材など、環状ミリングに適さないサンプルもあります。

このような場合には、FIB/SEM内に「lathe：旋盤」を設置することで解決できます。
Nanolatheは、360°連続回転する駆動部に直線的な位置決め手段を重ねた2軸位置決め装置です。顕微鏡のサンプルステージで回転軸の中心をビームの下に合わせた後、直線移動機構を使って関心領域（ROI）をNanolatheの回転の中心に配置することができます。Nanolatheの超精密回転駆動により、100nm台の同心度を実現しています。