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In-situ リフトアウト

透過型電子顕微鏡(TEM)では、試料作製が必須の条件となります。
電子透過ラメラを作製するための集束イオンビーム(FIB)ワークステーションの登場は、TEMの試料作製に革命をもたらしました。
最先端の分析ツールと高精度のナノマニピュレーションシステムを組み合わせることで、より速く、より正確に、より再現性と信頼性の高い試料作製技術を得ることができます。

 

イメージ

 


ラメラをグリッパーアームの間に配置

ラメラを保持する
 

TEMグリッドを視野に入れる

ラメラをTEMグリッドに接着
 

ラメラを離す
 
 

SemGluでTEMグリッドに貼り付けられたラメラ

SemGluを硬化させた後のTEMグリッド上のラメラ

 

紹介動画

 


[Using iLO to control the LiftOut Shuttle]


[TEM sample prep in 3D]


[TEM Sample LiftOut inside a SEM/FIB using SemGlu and the LifOut Shuttle]


[Three TEM lamella liftouts in twelve minutes]


[LiftOut Shuttle: LOS+ and TEM-sample clipholders]

 

 

Kleindiek社 <マイクロマニピュレータ・サブステージ>


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