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マイクロ加熱ステージは、SEM/FIBに小型加熱ステージを追加するためのスタンドアロンシステムです。
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MHS仕様
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大気中での温度範囲
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室温 ～ 90℃
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真空中での温度範囲
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室温 ～ 200℃
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温度分解能（コントローラ）
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0.1℃
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温度安定性（コントローラ）
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1℃
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絶対温度精度（センサー）
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0.5％
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長期間の温度安定性（センサー）
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200℃で1000時間後0.1℃（0.05％未満）
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室温からの昇温時間
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100秒で100℃、200秒で200℃（真空中、真空度による）
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200℃からの冷却時間
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200秒で100℃、600秒で45℃（真空中、真空度による）
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圧力範囲
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10-7 mbar ～ 大気圧
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MHS450仕様
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大気中での温度範囲
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室温 ～ 200℃
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真空中での温度範囲
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室温 ～ 450℃
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温度分解能
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0.1℃
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温度精度
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DIN EN 60751に準拠（許容差クラスB）
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室温からの昇温時間
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100秒で100℃、200秒で400℃（真空中、真空度による）
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400℃からの冷却時間
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100秒で200℃、300秒で100℃（真空中、真空度による）
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圧力範囲
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10-7 mbar ～ 大気圧
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イメージ
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Kleindiek社 ＜マイクロマニピュレータ・サブステージ＞
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