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Prober Shuttle(PS) [Shuttleシステム]

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Add-onツール ▶ アプリケーション例 ▶

 

 

Prober Shuttle PS4

 

Prober Shuttleは、高精度のin-situ電気ナノプロービング用の最新ツールです。この製品のビジョンを実現するために、比類のない安定性と精度を備えた超フラットな3軸マニピュレーターであるMM4を開発しました。プローバーシャ​​トルは、2つまたは4つのMM4で構成でき、オプションで超フラットな3軸サブステージを使用できます。

 

 

Prober Shuttle PS8

 

Prober Shuttleは、7nmテクノロジーノード以降での高精度のその場電気ナノプロービングのための最新ツールです。この製品のビジョンを実現するために、比類のない安定性と精度を備えた超フラットな3軸マニピュレーターであるMM4を開発しました。Prober Shuttleは、最大8つのMM4で構成でき、超フラットな3軸サブステージのオプションがあります。

 

 

Prober Shuttle PS8E エンコーダー機能付

 

最もコンパクトで高度に統合されたナノプロービングシステムであるPS8 プローバーシャトルに、ポジションエンコーダを追加しました。この最新機能により、高速で効率的なナノプロービングのワークフローが可能になりました。

 

ビーム感度が問題となり、そのために非常に低い加速電圧が必要となる最新のテクノロジーノードでのプロービングには、プローブの位置を自動的に事前調整できる機能は特に重要です。事前に設定されたアライメント位置を使用して、8つのプローブをそれぞれのパーク位置からサンプル上の一定の高さに近づけることができます。これにより、非点収差を常に補正したり、より高い加速電圧に切り替える必要があった面倒な事前調整作業が不要になります。

PS8Eには、比類ない安定性と精度を誇る超薄型3軸マニピュレーターMM4が採用されています。システム全体の高さは10mmで、幅広いSEMのロードロックに対応し、サンプルのスループットを向上させます。また、プローバーシャトルは、低電流・低容量の測定が可能であり、Live Contact TesterやEBIC(電子ビーム誘起電流)イメージングモジュールなど、Advanced Probing Toolsのハードウェアおよびソフトウェアに完全対応しています。

 

 

ロードロック式SEM対応「Shuttleマウント」

通常の試料交換と同様の手順で、試料交換室にユニット本体をセットし、試料室に導入します。予め試料ステージ周りに配置したソケットコネクタにユニットが接続することで導通を取ります。試料交換室経由でユニットを着脱できるため、試料やプローブ針の交換の度に、試料室を開放する必要が無くなります。(Shuttleマウントはドローアウト式のSEMやFIBにも適用可能です。)

 

 

コンパクトサイズ、SEM式ナノプロービングに最適化

幅100mm x 高さ10mmと、非常にサイズが小さいため、開口の狭い試料交換室にも対応できます。また、より短いワーキングディスタンスで使用できるためSEMの分解能を損なうことがありません。

 

 

 

 

 

仕様

共通仕様

マイクロマニピュレーター:MM4-EM
A = 左右、B = 上下、C = 伸縮
動作範囲:A = 9 mm(PS4) or 5mm(PS8)、
     B = 90°、C = 5 mm
分解能:A <0.05 nm、B <0.5 nm、C <0.05 nm
低ドリフト:1 nm / min

 

低容量、低電流の測定
ノイズ:20 fA @ 1 Hz(PS4)
    25 fA @ 1 Hz(PS8)
絶縁漏れ電流:<50 fA / V
信号導体抵抗:<5Ω
最大電圧:100 V
最大電流:100 mA

 

Prober Shuttle PS4

 

概要
全高:10mm
全幅:100mm
最大サンプル領域:20 mm×20 mm
最大サンプル高さ:10 mm ※
重量:100 g + SEM / FIBダブテール

 

※サンプル領域とロードロックの寸法による

Prober Shuttle PS8 / PS8E

 

概要
全高:10mm
全幅:140mm
最大サンプル領域:20 mm×20 mm
最大サンプル高さ:20 mm ※
重量:200 g + SEM / FIBダブテール
・ フランジからラックまでのクリーンなケーブル管理
・ 非磁性設計

 

※サンプル領域とロードロックの寸法による

 

エンコーダ機能:PS8E
ボタンをクリックするだけでプローブをパーク&復元
サブステージを事前定義された場所に移動

 

 

 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)