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9インチ大型チャンバー、高RF出力を備えた卓上型プラズマクリーナー
感度・速度・解像度・視野を兼ね備えた、EUVや軟X線の直接測定に適したカメラ
世界最速のラインレート(最大260kHz)のInGaAs近赤外線ラインカメラ
コンパクトで画像前処理といった機能をプロセッサに実装したエンベデッドカメラ