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MiniQSは、安価な使いやすい装置で、再現性を求めるユーザーに最適です。ターゲット交換を容易にしたマグネトロンスパッタリングヘッドを採用。
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 ・エントリーモデル MiniQS カタログ  アプリケーションノート： ・MiniQS 卓上型 SEMによるイメージングのための珪藻試料の迅速な前処理 ・MiniQS 卓上型SEMによるイメージングのための絹糸試料の迅速な前処理 ・MiniQS 水槽の藻類珪藻試料－ライフサイエンス標本のイメージングへの迅速なアプローチ
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■ 特長
・ スパッタヘッドはヒンジ式で操作しやすい
・ セーフティインターロック搭載
・ 防爆ガード付チャンバーは装置から簡単に取り外せるので清掃が簡単
・ 事前登録されたレシピをワンタッチで実行
・ ユーザー操作を最小限に抑えた自動運転
・ 卓上型SEM に最適なコンパクトサイズ
・ 多くのアプリケーションに適した貴金属ターゲットオプション
・ 最大50mm 径の試料に対応
■ 安全性
・ MiniQSは、英国および欧州（CE）の業界標準に適合しています。（LVD、EMC、RoHS を含む）
・ ユーザーが予期せず高電圧にさらされるのを防ぐインターロック付き
■ 仕様
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製品
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MiniQS |
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装置寸法
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幅 225 mm × 奥行 420 mm × 高さ 325 mm
（コーティングヘッドオープン時 高さ 480 mm） |
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重量
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8.7 kg
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スパッタターゲット
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金ターゲット付属（φ57 mm, t= 0.1 mm）
（Au/Pd、Ag ターゲットオプション） |
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試料ステージ
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φ50 mm ステージ
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真空排気
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KF16フランジ SUSフレキシブルホース1.5 m（標準）
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