クライオSEMシステム[FE-SEM/FIB/SEM]
■クライオSEMが必要なわけ・・・ |
走査型電子顕微鏡(SEM)で、含水試料や電子ビームに弱い試料を観察するためにクライオSEM法は最適な手法です。従来の臨界点乾燥法などと比較し、より自然に近い状態で試料を観察することができます。 |
■従来の「含水試料」前処理の限界 |
・収縮、歪み、変形、溶液の溶出 ・機械的損傷 -脆い試料は従来の手法で前処理をすると簡単に壊れてしまう ・生体試料処理には毒性の試薬が固定液や緩衝液として使用される ・長い処理時間 |
■クライオSEMの利点 |
・含水試料や電子ビームに弱い試料の観察、加工 ・ほとんど機械的な損傷がない ・経時変化観察に理想的(繰り返し凍結) ・高分解能(低真空SEMと比較) ・低温割断による情報の増加 ・迅速な試料前処理(通常5~10分) |

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