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Airlock ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾕﾆｯﾄ
● 真空や不活性ガス雰囲気下で試料をトランスファー
● 市販のSEMやFIB、グローブボックス、ビームライン装置などさまざまな装置にレトロフィット
● PP3006へのアップグレードが可
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常温下でSEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試料を搬送するのに適した装置です。 QuickLokは大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガスグローブボックスやさまざまな真空プラットフォームに使用可能な大気非暴露タイプの試料トランスファーユニットです。 |
● システム構成
QuickLokはローディングチャンバー本体とポンプ、ベント、搬送システムからなります。これには、カスタムデザインの真空装置へのインターフェースフランジも含まれます（排気装置参照）。
コンパクトな真空搬送用トランスファーデバイスはバヨネットタイプシャフトで試料ホルダー（シャトル）が簡単に脱着できます。標準のシャトル以外に、オプションの試料ホルダーを取付けられます。QuickLokの内側にあるインターロックと連動したLED照明で試料交換を容易にします。
● QuickLokの使用方法
試料を適したシャトルにセットしトランスファーデバイスに取り付けます。トランスファーデバイスをAirlockにアタッチして内部を排気します。ゲートバルブを開け試料をSEMステージに移動します。他の真空装置やグローブボックスから搬送用にオプションでインターフェースフランジの追加も可能です。
● 排気について
Quicklok用排気システムとしてロータリーポンプまたはオイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプが必要です。
＜ 主な仕様 ＞
・Airlockアセンブリー（ポンプ、ベント、搬送制御、ゲートバルブ）
・真空ポンプへの接続用カスタムデザインフランジ
・シャトル用SEM側ステージ
・LEDチャンバーライト（インターロック付）
・真空装置、不活性ガス対応試料搬送用トランスファーデバイス
【試料ホルダー】
・保持クリップ付試料シャトル
・試料シャトル（ブランク）
・試料シャトル（Φ10mm試料スタブ用）
・Φ10mmブランクスタブ
【排気装置】
排気装置としてロータリーポンプ／オイルフリーポンプ、ターボ分子ポンプステーション（推奨）が必要です。
・Pfeiffer Duo6：5m3 /hrオイルミストフィルタ付ロータリーポンプ
・Pfeiffer HiCube 80：ターボ分子ポンプおよびダイヤフラムポンプ
Quorum Technologies社 ハイブリットコーター（スパッター・カーボンコーター）・クライオSEMシステム
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