PP3010T

　・15inchタッチパネルPCによる簡単操作、オート制御

　・液体窒素による低温窒素ガス循環冷却方式

　・良好な熱応答性により最低-190℃まで冷却

　・高度なマスフローコントロールと優れた

　　温度安定性（typ.0.5℃以下）

　・視認性の良いプレパレーションチャンバー

　　（試料前処理室）

　・offカラム型（床置き）大容量液体窒素デュワーにより

　　長時間の連続運転が可能

　・Slice&Viewによる3D構築に最適

　・ステージバイアスモードに対応（up to 5kV）

　・プレパレーションチャンバー（試料前処理室）

　・クライオトランスファーデバイス

　・冷却ステージ

　・冷却トラップ（アンチコンタミネーター）

　・Prepdekワークステーション

　・CHE3010ガス冷却システム

「PP3010T」は、SEMおよびFIB/SEMに適したカラム取付けタイプのガス冷却クライオシステムです。

最新のクライオSEM技術の採用により設定が簡単になったPP3010TはPrepdekワークステーションに取付けられているタッチスクリーンから直感的に行うことができ、より使いやすくなりました。

また、システムの視認性を大幅に向上しました。プレパレーションチャンバー（試料前処理室）には大きなフロントビューポートと小型ビューポート（x2個）に加え、LED照明を配置しました。更にCCDカメラをプレパレーションチャンバーに設置し、カメラ映像をタッチスクリーンに表示します。

PP3010Tには、急速冷凍機能と大気非暴露搬送機能があり、プレパレーションチャンバーには冷却割断機構と自動昇華、コーティング機能が備わっています。急速凍結された試料は、真空環境を維持したままSEM試料室内の冷却ステージに搬送され観察されます。冷却ステージの温度安定性は1℃以下（typ.）に保たれます。プレパレーションチャンバーとSEM試料室内には、最低-190℃まで冷却可能な冷却トラップ（アンチコンタミネーター）が備えられ、試料汚染を抑制します。

【試料ホルダー】

　PP3010Tには、様々な試料に対応できるよう設計されたスタブとシャトルが付属します。また、オプションで加圧凍結を含む多種類の試料ホルダーがあります。

【試料のハンドリングおよび搬送】

　PP3010TのPrepdekワークステーションに試料を凍結／加工するスラッシュ窒素ポットがあり真空ポンプに接続されています。スラッシュ窒素による急速凍結方法で氷晶成長による試料ダメージを抑え良好に凍結できます。大きな凍結ポットは別の方法で凍結したり、保存されていた試料を液体窒素中で加工したり適したホルダーに載せることが可能で、それらを真空状態で準備室に搬送し加工や観察ができます。

  ・FE-SEM＆FIB/SEM用 クライオシステム カタログ

クライオトランスファーデバイス，
シャトル／スタブインサート

プレパレーションチャンバー

　プレパレーションチャンバーは窒素ガス冷却の試料ステージがあり、最低-190℃の温度を精密に制御します。試料上下の大型ガス冷却コールドトラップはプレパレーションチャンバーをクリーンで高真空に保持します。冷却ステージとトラップはユニークな床置きタイプのCHE3010冷却システムから供給された窒素冷却ガスで冷却します。

　プレパレーションチャンバーは内部が見やすく設計されています。150×78mmの大きなフロントウィンドウと上部2ヶ所にビューポートを採用しています。LED照明とCCDカメラで試料冷却ステージ付近をコントロールスクリーンに映し出します。

冷却割断ナイフ

　冷却割断ナイフと割断機構で様々な試料を冷却割断できます。フロントウィンドウに装着されたボールジョイントタイプのナイフは動きが自在であり表面加工や割断ができます。オプションとしてプレパレーションチャンバー上部取付けタイプでマイクロメータ付きの頑丈な冷却ナイフもあります。

offカラムポンプシステム

　昇華温度と時間の設定／保存ができます。この工程は条件入力後、自動で行われ予測と実測の温度曲線がコントロールスクリーン上にグラフィカル表示されます。高分解能スパッタコーターでSEM像観察に不可欠な極微細グレインフィルムをコーティングすることができます。

　Ptターゲットが標準で付属しますが、オプションターゲットとしてAu、Au/Pd、CrおよびIrの用意もございます。その他のオプションとしてカーボンエバポレーターや自動停止機能付き膜厚計（FTM）も装着可能です。

　プレパレーションチャンバーは床置きの70L/Sのターボ分子ポンプおよびロータリーポンプで排気されます。使用時の前処理室内真空度は通常10^-4Pa以下です。

　ターボポンプの設置場所をSEM本体から離し振動の影響を軽減しております。ターボポンプ後方に真空バッファータンクを組込みロータリーポンプは間欠運転しています。そうすることでロータリーポンプの運転時間は1時間の内、数分間程度となり熱、雑音、振動の発生を抑え省エネ効果も実現しました。

冷却ステージ

　安定した温度で優れた断熱性の窒素ガス冷却ステージはアダプタでSEMステージに取付けられます。冷却ステージや冷却トラップは独立した2系統のガス冷却ラインで冷やされ、熱応答性がよく最低-190℃です。

OFFカラム冷却システム

　CHE3010はSEM本体から離れたところに設置されそこで冷却された-190℃以上の冷却窒素ガスはすべてPP3010の冷却用に使われます（SEM冷却ステージ、SEM冷却トラップ、プレパレーションチャンバーの冷却ステージと冷却トラップ等）。この真空断熱ガス冷却システムにより優れた冷却効率だけではなく冷却用デューワーの設置場所も柔軟になりました。