REBEKA - SEM用 伸縮式BSE検出器
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『REBEKA』は、電子顕微鏡用の新しいBSE検出器で、 Crytur最高クラスの単結晶シンチレータに、精密高真空メカニクスと読出し回路を使いやすい単一パッケージにまとめた製品です。 |
高信頼性センサ |
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● 単結晶 CRY 18
● 超高品質な画像の為のシンチレータ/PMT（光電子増倍管）
● 0.5 keVまで検出できる独自の低エネルギーコーティング技術
● 優れたS/N比
● HV + LV + ESEM操作 |
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精密機構 |
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● モータ駆動式引き込み機構
● ベローズ式引き込み機構による超高真空
● 引き込み範囲：150 mm
● コンパクト設計
● 精密な位置調整
● 各種SEMへ取付可能
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＜ REBEKA 仕様 ＞
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センサ部 |
| ● 最適化された効率、最小化された残光、30光子/keVでの減衰時間45nsのCRY 18シンチレータ |
| ● 外径15 mm |
| ● 穴径：1、1.5、2、3 mm （観察視野は穴径による） |
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● 0.5 keVまで検出できる独自の低エネルギーコーティング技術 （CRYTUR LOW-ENERGY COATING™） |
| ● 最小感度：ビーム電流値1 pA |
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電子制御部 |
| ● 寸法：270☓180☓65 mm |
| ● 電源：AC 230/110 V |
| ● 異なるスキャン速度に最適化された3つのノイズフィルタ |
| ● 帯域幅：50 MHz |
| ● 内蔵電源：光電子倍増管用0-1200 V |
| ● ビデオ出力信号：±1V（±5V） |
| ● 完全遠隔ソフトウェア制御 |
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作動機構部 |
| ● 寸法：406 x 100 x 72 mm |
| ● 超高真空度のベローズ設計 |
| ● モータ駆動式引き込み：150 mm |
| ● XYZ軸での微調整：±2 mm |
| ● 位置再現性：±0.01 mm |
| ● 金属保護チューブで覆われた検出器チップの厚さ： 3.5 mm / 幅：24 mm |
| ● 各種SEMのフランジに対応 |
| ● 銀/黒/青/赤の艶消し仕上げ |
＜ サンプル画像 ＞
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● Sensitivity at low energies ● Contrast evolution |
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| ● Fast scanning speed |
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| ● BSE and SE image comparison of the same sample |
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| ● IMAGES ACQUIRED WITH REBEKA |
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Crytur社 ＜イメージスクリーン - シンチレーター、BSE検出器＞
