LT12830シリーズ

kle_lt12830_200
◆LTシリーズ最高精度
◆可動範囲　30mm
◆動作軸　[XY]
◆ダブルエンコーダー(クローズループ)
◆繰返し精度　50nm
◆CAD Navi, リソフラフィー用
　サイズ 　XYモデル：128 x 128 x 15mm
　可動範囲 　X = 30 mm、Y = 30 mm
　分解能 　XYZ = 0.5 nm
　繰返し精度 　50 nm

 

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