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LT12830シリーズ

●　LTシリーズ 最高精度

●　可動範囲　28.5mm

●　動作軸　[ XY ]

●　ダブルエンコーダー（クローズループ）

●　繰返し精度　50nm

●　CAD Navi, リソフラフィー用


  ・Kleindie社 総合カタログ（マニピュレータ・サブステージ）

 

 

LT12830 仕様

 

サイズ
XY モデル ：128×128×16 mm
可動範囲
XY= 28.5 mm
分解能
XY < 0.03 nm
繰返し精度
50 nm

 

 

 

Kleindiek社 ＜マイクロマニピュレータ・サブステージ＞

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