MM3A-EM / Shuttleシステム(Prober Shuttle, Lift-out Shuttle)
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「MM3A-EM」および「Shuttleシステム」は既存のSEM/FIBの試料室へ設置されます。装置本体が非常にコンパクトで、あらゆる汎用SEMに取付けが可能です。取付けの際にSEMの改造は必要ありません。広い動作範囲と非常に細かい動作分解能（サブナノ）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作することで、低倍率～高倍率での使用が可能です。SEM（SIM）像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。 |
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取付けるSEMや使用目的に応じて、「MM3A-EM」と「Shuttleシステム」の選択が可能です。
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| 【MM3A-EM】 |
| 非常に小型なため、取付けるSEMやアプリケーション、サンプルのサイズや形状に応じて、フレキシブルな取付けが可能です。Plug-inツールやAdd-onツールも豊富で拡張性があります。大学や研究所など、多目的用途でのR&Dや実験に向きます。 |
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特殊仕様 ◆ エンコーダー機能付 マニピュレータ MM3E-EM
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| 【Shuttleシステム】 |
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● 多くのFE-SEMで採用されているロードロックに対応可能で、試料交換室経由で本体の着脱をするため、試料室を開放する必要がなくなります。 ● 特定のアプリケーションに特化しています。 ● 複数台のマニピュレータを1台のユニットにまとめることでコンパクトになり、特にユニット全体の厚みが薄いため、 短いワーキングディスタンスに対応可能です。 |
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特殊仕様 ◆ エンコーダー機能付
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