MM3A-EM / Shuttleシステム(Prober Shuttle, Lift-out Shuttle)
【MM3A-EM】 |
非常に小型なため、取付けるSEMやアプリケーション、サンプルのサイズや形状に応じて、フレキシブルな取付けが可能です。Plug-inツールやAdd-onツールも豊富で拡張性があります。大学や研究所など、多目的用途でのR&Dや実験に向きます。 |
特殊仕様 ◆ エンコーダー機能付 マニピュレータ MM3E-EM
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【Shuttleシステム】 |
● 多くのFE-SEMで採用されているロードロックに対応可能で、試料交換室経由で本体の着脱をするため、試料室を開放する必要がなくなります。 ● 特定のアプリケーションに特化しています。 ● 複数台のマニピュレータを1台のユニットにまとめることでコンパクトになり、特にユニット全体の厚みが薄いため、 短いワーキングディスタンスに対応可能です。 |
特殊仕様 ◆ エンコーダー機能付
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