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マイクロマニピュレータ MM3A-EMは既存のSEM/FIBに更なる拡張性をもたらします。 装置本体が非常にコンパクトで、あらゆる汎用SEMの試料室内取付けが可能です。取付けの際にSEMの改造は必要ありません。 広い動作範囲と非常に細かい動作分解能(サブナノ)を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード(分解能)を切換えながら操作することで、低倍率～高倍率での使用が可能です。SEM(SIM)像をライブ観察しながら、自在にマニピュレータを制御できます。 標準でプロービング機能を持ち、付属のコントローラーと測定機を接続してご利用頂けます。 また、様々な分野のアプリケーションに対応したプラグインオプションも充実しています。 |
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特殊仕様 |
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◆ エンコーダー機能付モデル MM3E-EM
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MM3E-EM |
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◆ UHV仕様モデル
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◆ 低温仕様モデル
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サブナノ動作分解能＋広い動作範囲 |
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ピエゾ素子を駆動原理とし、分解能0.25nmを実現します（Z軸最小動作時）。微動モード（nm動作分解能）と粗動モード（長距離移動用）を切り替えることで、ナノスケールの超微細動作を広い領域で行えます。
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X軸（左右） Y軸（上下） Z軸（伸縮） |
コンパクト設計 |
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シンプルで洗練されたデザインは、顕微鏡への取付けに融通性を持たせます。マニピュレータの脱着は簡単に行えるので、共有装置にも必要な時だけ取付けて使用することが出来ます。 |
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すぐれた安全性 |
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コンパクトな設計により、優れた安定性を持ち、耐振性能にも効果を発揮します。ドリフト性能はわずか1nm/minと抜群の保持性能があります。電気特性評価や長時間レコーティング、マニピュレーションにおいても高い成功率を得られます。 |
フレキシブルな取付け |
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各社SEM / FIBに対応するため、様々なアダプタを取り揃えています。 （アダプタは取付ける機種や操作性によって異なりますので、詳細はお問合わせください。）
・ ユニバーサルマウント／ブリッジマウント／ルーフマウント／ドアマウント |
かんたん操作 |
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ディスプレイ上のSEM画像を見ながら、コントロールボックスやジョイパッドで、感覚的なマニュアル制御が行えます。 |
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シンプルな構成と接続 |
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以下の構成から成ります。
1）マニピュレータ 本体 2）コントロールボックス 3）電源ボックス 4）ジョイパッド |
5）真空導入端子ケーブル / コネクタ 6）分岐ボックス （MM3Aが2台以上の時） 7）ソフトウェア |
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MM3A 先端部 |
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先端にφ2mm深さ5mmの穴があり、プローブ針保持したチップホルダーを差込ます。標準で先端R100mmのサンプルプローブ（5本）が付属します。ホルダーを変えることで、ガラスピペットや自作ツールなどを保持することも可能です。（3g 程度まで）
また用途に応じて様々なプラグインツールを追加出来ます。 |
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プロービング機能 |
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MM3A-EMはプローバーとしての機能を併せ持ちます。スムーズな動作、サブナノ分解能により、ナノデバイスやナノチューブなどの微小サンプルに直接プローブを接触させます。また、低ドリフト性能は測定の成功率を高めます。 |
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製品動画 |
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