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卓上型プラズマクリーナー |
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| Tergeo-EM | Tergeo-Basic | Tergeo-Plus |
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Tregeoプラズマクリーナーの利点 |
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優れたプラズマ均一性 |
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PIE Scientific社では、プラズマ発生器の均一性を高めるための研究を重ねてきました。一部の安価なプラズマクリーナーで採用されている外付けのインダクタ・コイル型アンテナでは、均一な高周波電界を得ることは極めて困難です。プラズマチャンバー内に金属製のRF電極を設置した場合、その形状は本質的に非対称となります。高電圧のRF電極の近く、特に電極の端ではプラズマが強くなります。Tergeoのプラズマクリーナーは、2つの対称的な外部電極を採用しており、他のタイプのプラズマクリーナーよりもはるかに優れたプラズマの均一性を実現しています。 |
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「Immersion(浸漬)」と「イオンフリーDownstream」
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Tergeoプラズマクリーナーは、2つのプラズマソースを1つのシステムに統合しています。ダイレクトプラズマソースは、従来のImmersionモードのプラズマクリーニングに使用され、試料はプラズマに直接浸されます。この処理モードでは、試料は酸素やフッ素ラジカルとの化学反応や物理的なイオンスパッタリングの衝撃を受けます。デバイスのコーティングが非常に薄い場合、イオンスパッタリングはこの繊細なコーティングにダメージを与える可能性があります。デバイスが表面電荷と高い電子電流の流れに非常に敏感である場合、ICデバイスに不可逆的なダメージを与える可能性があります。このような場合には、 Downstreamモードでのプラズマクリーニングを推奨しています。このモードでは、プラズマは試料チャンバー内とは別のリモートプラズマソースで生成され、中性の酸素とフッ素ラジカルのみが試料チャンバー内に拡散し、フォトレジストや有機汚染物質と反応します。 |
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高度なプロセス制御技術 |
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プラズマの均一性や強度は、チャンバー内の圧力によって変化します。Tergeoのプラズマクリーナーは、圧力のモニタリングに先進のMEMSベースのデジタル圧力センサー技術を採用しています。また、PIE Scientific社は、プラズマ強度をリアルタイムで定量的にモニターできる独自のプラズマセンサー技術を開発しました。定量的なデータは、日ごとに再現性のある安定した結果を得るための鍵となります。 |
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全自動運転 |
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一部の基本的なプラズマ装置では、ガスをプラズマチャンバー内に導入するために、ユーザーが手動でニードルバルブを調整する必要があります。フィードバックのないマニュアルでのニードルバルブ調整では、再現性のあるガス流量を実現することはほとんど不可能です。Tergeoのプラズマクリーナーは、全自動のマスフローコントローラー（MFC）を採用しており、0～100sccmのガス流量を0.2sccm以下の精度で正確に調整することができます。また、複数のレシピに対応した全自動運転により、クリーニングプロセスの実行が内蔵のマイクロコンピューターによって制御されるため、日々のパフォーマンスの再現性が保証されます。 |
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