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プラズマクリーナー/TEMホルダー真空保管ステーション

プラズマクリーナー(有機系コンタミネーション予防&除去ツール)

 

コンタミネーション予防&除去


表面処理(接着性の向上、親水化処理)

 

電子線を用いた「表面観察/分析装置」「加工/描画装置」、「真空成膜装置」でのコンタミネーションを低減し、装置性能を最大限に引き出します。

※本装置における「コンタミネーション」は電子線照射により真空チャンバー内の残留ガス分子(炭化水素)が試料などの表面で重合して堆積される汚染膜を意図します。残留異物や微粒子(ほこり)を指すものではありません。

 

リモートプラズマクリーナー

卓上型プラズマクリーナー

ターボ分子ポンプ領域で運転可
Dualプラズマソース
腐食性ガス使用可
3つのクリーニングモード
低粒子汚染(低PWP)
マスフローコントローラ
プラズマ発光強度センサー内蔵
秀逸なユーザーI/Fデザイン

 

原理・主な使用方法 ▶   基本性能 ▶   アプリケーション例 ▶

 

 

リモートプラズマクリーナー


EM-KLEEN
分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、 ソースはFE-SEM やXPS、EPMA などの試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。
 

  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ

 

卓上型プラズマクリーナー


Tergeo-EM
ラボ向けAll in one マルチユース対応。Dualプラズマソース内蔵で、 試料や目的に応じて「ソフトクリーニング」 「高速・ハードクリーニング」の2つのモードが選択できます。
分析試料やTEM用カーボン支持膜のPreクリーニング(コンタミ予防)から、 濃厚なコンタミネーションの積極的な除去クリーニングまで、1台で様々なニーズに対応します。
 

  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ

 

TEMホルダー真空保管ステーション


TEM STORAGE STATION
TEMホルダー真空保管ステーションは、最大6本のTEMホルダー・サンプルを真空下で保管することができます。
分析前のサンプルからのアウトガスを最小限に抑え、クリーンな状態に保ちます。
 

  ・TEMホルダー真空保管ステーション カタログ

 


 

 
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弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
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