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Tergeo [卓上型プラズマクリーナー]

Tergeo

 

  卓上型プラズマクリーナー『Tergeo』は、2つのプラズマソースを内蔵し、用途に応じてクリーニングモードを切り替えることが出来ます。

  このため「エッチング」や「アッシング」、「表面洗浄」、「表面改質」といった、一般にラボで要求されるあらゆるプラズマ処理に、Tergeo1台で対応することが可能です。Tergeoがあれば、プラズマ処理のために複数台の装置を用意する必要はありません。

 


  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ

 

Dualプラズマソース
3つのクリーニングモード
マスフローコントローラ

 

アプリケーション例 ▶

 

 

フレキシブルなフロントドア構造

フロントドアはバヨネット式で簡単に着脱が可能です。
試料などクリーニング対象物は、スライドトレイに乗せてチャンバー内にセットされます。
 
TEM用途の場合、フロントドアのロッドアダプタ(最大2本まで)にTEMホルダを挿入します。
ロッドアダプタは付替えが可能です。

 

マスフローコントローラ

2系統(オプションで1系統増設)のマスフローコントローラで、プロセスガスの流量制御を行います。
 
Vent/Pumpは、別系統のソレノイドバルブで制御します。

 

秀逸なユーザーI/Fデザイン

 

 

 

3つのクリーニングモード(Dualプラズマソース)

 

高速クリーニング 低ダメージ

Immersionモード

Downstreamモード

プラズマを試料室「内」で発生させます。
プラズマ空間の中に浸された試料は、ラジカルと化学反応を起こすと同時に、スパッタリングされます。

フォトレジストのアッシングや試料エッチング、PDMS表面改質など、積極的で早いクリーニングレートが要求される用途に適しています。

(参考) Immersion=浸漬。一般に「プラズマクリーナー」と称する装置はImmersionモードであることが多いです。

 

プラズマを試料室「外」で発生させます。
プラズマ発生室と試料室を分離することで、試料はスパッタリングされること無く、マイルドな化学反応のみによってクリーニングされます。

熱や静電気放電に弱いデバイスや、TEM試料, カーボン支持膜付きTEMグリッド、窒化シリコン膜などの繊細で脆い試料、薄膜コートされた光学デバイスなど、ダメージレスでマイルドにクリーニングしたい用途に適しています。

pie_tergeo_immersion_mode pie_tergeo_downstream_mode.jpg

 

極低ダメージ

Pulseモード

低デューティーサイクルのPulseモードは平均的なプラズマ強度を著しく減少させることで、極繊細な試料へのクリーニング適応を可能にします。
RF出力を変えるか、デューティーサイクルを変えることで、プラズマ強度を調整出来ます。

 

 

製品ラインナップ

 

Tergeo-EM

 電子顕微鏡用途向け。TEM試料ホルダを2本装着可能。
フロントドアの取外しが可能で、バルク試料のクリーニングには
100x250mmの試料トレイを挿入可能。
繊細な試料向けにPulseモード(極低ダメージ)を搭載。

Tergeo-Basic

 低価格エントリーモデル。多くの一般的なアプリケーションに適応可能。

Tergeo-Plus

 Basicのラージチャンバーモデル。

Tergeo-Pro

 9インチ大型チャンバー
 高出力RFパワー標準150W

Tergeo-Pro 詳細ページ ▶  

 

 

製品仕様

 

製品
Tergeo-EM Tergeo-Basic Tergeo-Plus Tergeo-Pro
プラズマソース
ダイレクトモード:CCP(CapacitivelyCoupled Plasma)[容量結合型]
リモートモード:ICP(Inductively Coupled Plasma)[誘導結合型]
ダイレクトモード:CCP(CapacitivelyCoupled Plasma)[容量結合型]
クリーニングモード
  ・高速クリーニング
  ・低ダメージ
  ・パルスモード
 
標準
標準
標準
 
標準
標準
オプション
 
標準
標準
オプション
 
標準
×
オプション
RF出力
(@13.56MHz)
0~75 W
オプション:150 W
0~150 W
オプション:300 W or 500 W
チャンバーサイズ
内径:110 mm
奥行:280 mm
4”wafer
内径:160 mm
奥行:280 mm
6”wafer or
4”wafer boat
内径:230 mm
奥行:340 mm
8”wafer or
4”/6”wafer boat
システム制御
7インチLCDタッチパネル
20レシピ保存オート制御3レシピのジョブシーケンスモード
マスフローコントローラ
2系統のマスフローコントローラで、プロセスガスの流量制御(オプションで1系統増設可)
Vent/Pumpは、別系統のソレノイドバルブで制御
プラズマ強度センサー
プラズマ発光強度センサーを内蔵
サイズ(W×H×D)
450×230×430 mm
450×230×430 mm
500×300×430 mm
500×550×550 mm
重量
21 kg
21 kg
28 kg
42 kg
電源
AC 90~250 V 50/60 Hz 単相10 A(標準出力)

 

* RF出力:日本国内では、初期設定でRF出力を49Wまでに制限しています。
 “高周波利用設備申請書”の届出により、制限を解除し、75W(オプション:150W)まで使用可能となります。

 

 

PIE Scientific 社 <プラズマ処理によるコンタミネーション除去/表面処理>


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  ▶ PIE Scientific 製品 卓上型プラズマクリーナー『Tergeo-Pro』

  ▶ プラズマクリーナー <アプリケーション例>

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