㈱アド･サイエンス 　Quorum社製品 特設ページ   　英国 Quorum Technologies 社製 　　電子顕微鏡関連製品 　　SEM用クライオ装置   　 　PP3010T Cryo-SEM/Cryo-FIB/SEM Preparation System　 　　　 SEM用クライオ装置 　　 液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEMで観察を行う装置です。 自動ガス流量調整機能やCryo-SEMに温度コントロール機能を重視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM観察を行うPP3010T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感な半導体材料などの測定に活用されています。   　 　PP3004 Airlock　 　　　 トランスファーユニット 　　 常温下でSEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置に試料を搬送するのに適した装置です。 クイックロックは大気に敏感な試料を真空下で搬送可能です。 トランスファーデバイスは密封が可能で、不活性ガスグローブボックスやさまざまな真空プラットフォームに使用可能な大気非暴露タイプの試料トランスファーユニットです。   　 　PP3005 SEMCool Non-Airlock Cooling System for SEM and FIB/SEM　 　　　 SEM用冷却システム 　　 SEM、FIB/SEM、 ビームラインや真空装置用冷却システム (エアーロック無しタイプ) サンプル交換時にエアーロックを不要なシステムやアプリケーション向けにデザインされております。   　 　PP3006 CoolLok Cryo Transfer for SEM and FIB/SEM　 　　　 SEM、FIB/SEM、ビームラインや真空装置用クライオ搬送装置 　　 CoolLokでSEM、FIB/SEM、ビームラインやその他の真空装置で試料の迅速な搬送やクライオ観察ができます。アプリケーションとしては電子ビームに敏感な試料の熱保護、プラスチック、ポリマー、Low-K材料や複合材料などの低温観察ができます。　トランスファーデバイスは密封が可能で真空を保持した状態、または常温下で不活性ガス用グローブボックスからの試料搬送も可能です。   　 　懐かしい生産中止品　　 Polaron, Emitech時代からの懐かしいクライオ装置です。 Quorum社は2001年に誕生しましたが、Polaron時代からの技術を継承しております。 生産中止品のマニュアルや修理部品等が入手可能な場合もあります。 懐かしい装置のサポートも致しております 　　SEM用スパッター装置     　　Q300T T Triple Target, Large Chamber, Turbo-Pumped Sputter Coater　 　　　φ300mm大型チャンバー、ターボ・トリプル・スパッターコーター Q300T Tは大型チャンバーでターボ ポンプを使用したスパッタコーターです。 トリプルターゲットタイプで,最大8インチ/200mmサイズのウェーハーや同時に多数の試料に スパッターリングができるスパッターコーターです。 ・　ターボポンプを使用したスパッターコーターで最大8インチ/200mmに対応 ・　トリプルターゲットで大面積に均一なコーティングが可能 ・　小さなサンプル用にシングルターゲットでの使用も可能 ・　タッチスクリーンからのシンプルな操作で入力が簡単、全自動 ・　オプションの膜厚計で正確な膜厚制御 ・　オプションで非常停止スイッチの装着可能 ・　オプションで高さ214mmロングチャンバーも取り付け可能 ・　3年保証     　 　Q300T D Dual Target Sequential Sputtering System 　　 φ300mm大型チャンバー、ターボ・デュアル・スパッター コーター 　　 デュアルターゲット大型チャンバータイプです。チャンバーサイズはφ300mm x H127mm で,2、3、4、6インチサイズのウェーハーに対応。 バキュームシャットダウン機能で装置を使用しない場合にもチャンバー内部を真空保持できます。 ・　デュアル スパッターヘッドで異なる金属を連続してコーティング可能 ・　スパッター時の真空度が設定可能で、設定した真空で自動的に開始 ・　タッチスクリーン操作で快適に使えます。 ・　過去100回のコーティングログからコーティングサマリーが表示できます。 ・　オプションの水晶振動子タイプ デュアル膜厚計で自動膜厚制御が可能です。 ・　オプションで非常停止スイッチボタン組み込み可能。 ・　オプションで高さ214mmロングチャンバーを用意、大型の試料やターゲットとサンプル間の距離を長くしたい場合に使用します。 ・　3年保証     　　Q300T ES Large Chamber Turbo-Pumped Evaporator/Sputter Coater 　　 φ300mm 大型チャンバー、ターボ・エバポレータ/スパッターコーター Q150シリーズの流れをくむ大型チャンバータイプです。 メタル蒸着に理想的なターボポンプを使用した大型チャンバーで 6インチ／152mmのウェーファーや 複数の小さな試料などに最適。　 　・　カラー液晶パネルからタッチスクリーン操作で高品質薄膜コーティングが誰でも簡単にできます。 　・　1台でメタル蒸着、カーボン蒸着、メタルスパッターが出来るコンパクトな設計。 　・　メタル蒸着サイズ最大　－　 6インチ／152mm 　・　スパッター、カーボン蒸着サイズ最大 － 4インチ／102mm 　・　ターボポンプを使用した高真空下でSEMやFE-SEM用に酸化、非酸化金属の高解像度成膜が可能。 　・　交換可能なスパッター、メタル蒸着、カーボン蒸着インサート方式を採用 　・　パルスコントロール、ランプコントロールによる再現性に優れたカーボン膜の成膜。 　・　最大60分のスパッターリングタイムで厚い成膜も可能 　・　3年保証     　 　Q150T Turbo-Pumped Sputter Coater/Carbon Coater 　　　φ150mm チャンバー、ターボ・エバポレータ/スパッターコーター 　 Q150Tはコンパクトなボディーに７０ℓ/ｓ空冷ターボポンプを搭載したマルチコーターで、 SEM、TEM、その他の薄膜アプリケーションに最適です。 Q150T には3つのタイプがあります。 　・　Q150T S ： 酸化、非酸化金属の超微細コーティングができます。 　・　Q150T E ： 高真空下でSEM、TEM用カーボン蒸着アプリケーションができます。 　・　Q150T ES ： 高真空下で高解像度スパッターリングができます。 　・　オプションで高さ214mmロングチャンバーを用意　 　・　3年保証   　 　Q300R T Triple Target, Large Chamber, Rotary-Pumped Sputter Coater 　　 300mm ロータリータイプ大型チャンバー　スパッター コーター Q300R TはロータリーポンプタイプのSEM やTEM 試料の前処理や金貴金属薄膜の成膜等に適した トリプル ターゲット スパッターコーターです。 Q300T には3つのタイプがあります。 　・　Q300R T ：　ロータリーポンプタイプ スパッタリング装置 　・　Q300T E ： カーボン蒸着装置 　・　Q150T ES： スパッタリング及びカーボン蒸着装置 　・　3年保証    　 　Q150GB Turbo-Pumped Sputter Coater / Carbon Coater for Glove Box 　　　グローボックス用ターボ・スパッター コーター　 Q150T ESをグローブボックス内部に設置できるようにしました。 　・　Q150T ESと同じ機能がグローブボックス内で使えます。 　・　インターロックでグローブ内圧力に異常がある場合は真空ポンプ停止機能します。 　・　リモートコントロール用タッチスクリーンパネルからの操作 　・　高さ214mmのロングチャンバー 　・　フルレンジ真空ゲージ 　・　ステージ高を 0 ～ 190mm の範囲で変更可能。 　・　オプションの膜厚計装着も可能    　 　K975X/K975S Turbo-Pumped Thermal Evaporators 　　　多機能　ターボ・エバポレーター　　　 K975X は卓上タイプのコンパクトな多機能エバポレーターです。 　・　カーボンロッド、金属フィラメント、ボートソースが標準装備 　・　大型チャンバー φ200mm x H300mm、　最大サンプルサイズ　8インチ/200mm 　・　デュアルソースエバポレーション機能で二種類のソースを連続コーティング 　・　ドロワータイプの試料ステージで使い易くなっております。 　・　3年保証  　　SC7620 Mini Sputter Coater/Glow Discharge System 　　　卓上 ミニスパッタコーター／プラズマ処理 システム コンパクトデザインのSEM用スパッタコーター／プラズマ処理システムです。 オプションのSC7620-CFと組み合わせることで、低価格なご予算でSEM用スパッタコーターと カーボンコーターのセットができます。 標準でプラズマ処理機能あるので、カーボンコートしたTEMグリッドの親水化や表面改質も可能 　・　簡単な操作 　・　コンパクトで小さなボディー（340mmWx320mmDx310mmH) 　・　グローディスチャージ機能 　・　試料ステージ高さ調整可能 　・　容易なターゲット交換 　・　3年保証   　 　懐かしい生産中止品　　　 1960年代に誕生したPolaron Equipment Ltd時代からの懐かしいコーター達です。 Quorum社は2001年に誕生しましたが、Polaron時代からの技術を継承しております。 古い商品のマニュアルや修理部品等が入手可能な場合もあります。 懐かしい機械のサポートも致しております 　　その他の装置     　 　K1050X　RF Plasma Etchers / Plasma Reactors 　　　RF バレルタイプ プラズマ処理システム　 　 RFプラズマバレルリアクターは酸素や空気で有機試料の低温灰化、CF４をプロセスガスとして半導体のフォトレジストの除去などに利用されております。 　・　RF電源ユニット13.56MHz （０から１００W） 　・　RFオートチューニング機構 　・　バレルタイプチャンバー φ110mmx160mmL 　・　デュアルプロセスガスインレット 　・　オプションとしてロータリーポンプ、ダイヤフラムポンプ、ターボポンプ内臓タイプ選択可能 　     　 　GloQube Glow Discharge System for TEM grids　 　　　TEM グリッド用プラズマ処理 システム　 　 簡単な操作で親水化/疎水化が1台で出来るプラズマ処理 システムです。 GloQubeはカーボン コートで疎水性になったサンプルを親水化ができます。 　・　親水化/疎水化 - ポジティブ/ネガティブ モード 　・　デュアル　チャンバー 　・　タッチ スクリーン 　・　セプタム-シールボトル方式ガス供給 　・　簡単で使いやすい試料ローディング 　 　製品に関してのお問い合わせ 　　弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。 　デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。 　現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する 　商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。) 　　Copyright(c)1997-2016 AD SCIENCE INC. 　All Rights Reserved.