クラインディーク (Kleindiek)
走査電子顕微鏡(SEM)/光学顕微鏡、各種真空装置向け
■マイクロマニピュレータ
■真空対応ピエゾステージ
■マイクロマニピュレータ
■真空対応ピエゾステージ
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クラインディーク社は、ピエゾ素子駆動の超小型精密位置決め装置（マイクロマニピュレータ、ステージ）の開発・製造を行っています。既存の電子顕微鏡（SEM / FIB）や光学顕微鏡にインストールすることで、サンプルを「観る」ことが主体の顕微鏡に、「操る」（マニピュレーション）・「測る」（プロービング, 応力測定）といった新しい機能を付加することやステージの高精度化を実現します。微細化の進む半導体・ナノテクノロジー領域での研究開発や分析評価をサポートします。 |
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● SEM式ナノプロービング（I-V 測定、EBIC / RCI） ● マニピュレーション ● TEM試料リフトアウト ● 応力・引張り測定 ● In-situ インジェクション ● AFM |
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● マイクロマニピュレーター ● サブステージ |
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● Prober SHUTTLE （MM4-EM） [ プローバーシャトル ] ● Lift-out Shuttle [ リフトアウトシャトル ] |
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マイクロマニピュレータ(ナノプローバー) / 真空対応ピエゾステージ
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