電子顕微鏡 前処理
SEM観察 導電処理
生物試料のような絶縁物試料をSEMで観察しようとすると、チャージアップ(帯電現象)が起こり、正しい像を観察できないことがあります。
帯電防止のためにコーティングを行う場合、一般的には導電性に優れたAuが使用されますが、粒径が大きいため高分解能の観察には不向きです。
粒径の細かさからPtが使用されることもありますが、低真空仕様のスパッタコーターではAuと比較してコーティングレートが遅く、ターゲットも高価です。
高真空仕様スパッタコーターでは、導電性コーティングのためにCrやIrを選択できます。
適正条件で製膜されたCrの粒径はPtよりも細かく、またターゲットが安価のためFE-SEM観察に最適です。
しかし酸化しやすいため、試料の大気保管ができず、コーティング後はすぐに観察する必要があります。
IrはCrと同等以下の粒径で酸化もしないため、同じく高分解能観察向けに推奨されますが、ターゲットは高価になります。
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▼Q150TSを使用してシリコンウェハ上にスパッタされた膜の比較 （膜厚：50nm ESEM 30kV 250,000xで撮影） |
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| ご提供：ロンドン大学薬学部 | |
また、低真空SEMでは未コーティングの試料をチャージアップなしで観察することができますが、コーティングを行い高真空中で観察する二次電子像と比較すると、立体感に欠けた画像になる場合があります。
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▼乾燥させて撮像したアカイエカ（Culex pipiens s.l.） |
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未コーティング、低真空モードで観察
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Q150Rスパッタコーターを用いて金コーティング
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【画像クリックで拡大】 |
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| ご提供：エッジ・ヒル大学 | |
X線分析 導電処理
EPMAやEDS,WDSでの元素分析の試料前処理において、AuやPtのような重い元素をコーティングすると、見たい元素のピークを隠し、分析の邪魔になってしまう場合があります。
そのため、一般的には原子番号の小さいカーボンの蒸着が、導電処理として行われます。
試料保護膜
数十～数百nmの厚膜をコーティングすることで、FIBやアトムプローブなどの用途における試料への熱ダメージを低減します。
電極作成
電子顕微鏡関連の試料前処理用途以外にも、実験レベルでの薄膜や電極の作成にも適しています。
Q300TDでは2元のターゲットを装着可能で、真空を保持したまま異なる2種類のターゲットを最大5層まで連続して成膜することができます。
アプリケーションノート
