FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）

FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）は、X・Z・回転・傾斜の4つの動作軸を備えたポジショニングツールで、サンプルを±90度傾けることができ、さらにFIB / SEMの試料ステージを使用してステージ全体をFIB角度に傾けることができます。

ACTの傾斜軸が、FIB / SEMのステージによって電子ビームの中心に置かれた後、対象領域を所定の位置に移動し（X）、回転させて向きを調整し（R）、傾斜軸まで持ち上げる（Z）ことで真のユーセントリック傾斜を実現できます。
ACTを利用することで横断面またはTEM切片を生成しながら、集束イオンビームに垂直な軸上で試料を前後に揺動させることが可能です。
傾斜プラットフォームには0.1度分解能の位置エンコーダが取り付けられています。

・Kleindie社総合カタログ（マニピュレータ・サブステージ）

ACT仕様

可動範囲	X= 10 mm、Z= 3 mm、R= 360度（無制限）、T= ±90度（エンコーダー付き）
絶対精度	T < 0.4度（7×10^–3 rad）
分解能	直線軸 < 0.05 nm、回転軸 < 4×10^–7 度（6.5×10^–9 rad）
繰返し精度	T < 0.03度（4×10^–4 rad）
速度	1 mm/s（最大）
ドリフト	< 1.5 nm/min

紹介動画

[Anti Curtaining Table - Four-Axis Eucentric Tilt Stage]

[Anti Curtaining Table (ACT) - four-axis substage for smooth cross sectioning]

[Anti Curtaining Table - milling 3D printed metal]

[ACT - Anti-Curtaining Table - mill sample while rocking back & forth]

Kleindiek社＜マイクロマニピュレータ・サブステージ＞

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FIB向け カーテン効果防止4軸ステージ（ACT）

ACT仕様

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