In-situ AFM

SEMで高速に3D情報を得たいと思ったことはありませんか？
原子間力顕微鏡（AFM）と走査型電子顕微鏡（SEM）の組み合わせは、新しい可能性をもたらします。
SEMはマイクロメートルからナノメートル領域の分析に広く使用されており、AFM技術は異なる材料の表面や特性をナノメートル単位で詳細に調査するのに有効です。

コンパクトでフレキシブルなAFMをSEM内で使用することにより、SEM検査で得られた横方向の寸法や材料に関する情報を、正確な地形や力の情報で補完することができます。
これらの2つのデータを簡単に利用できることで、既存のツールに新たな付加価値をもたらし、実験のサイクルタイムを短縮して、研究のスループットを向上させることができます。