EBIC，RCIアンプモジュール（EBIC-RCI） - AD SCIENCE －株式会社アド・サイエンス

EBIC像（Electron Beam Induced Current：電子線誘起電流）や、RCI（Resistive Contrast Image：吸収電流像）を得るためのアンプモジュールです。

EBIC像、RCI像の取得には、2台のマニピュレータと1台の微小電流測定キット（LCMK）との組合せが必要です。
誘起電流または吸収電流は、マニピュレータが保持したLCMKを経由してアンプモジュールに入力されます。アンプモジュールはSEMの外部入力端子に接続され、SEMのディスプレイ上にEBIC像またはRCI像を表示します。

EBIC像ではp-n接合の可視化や、試料の結晶欠陥の観察が可能です。RCI像では回路内のオープン箇所の特定などに有効です。

・Kleindie社総合カタログ（マイクロマニピュレータ）

紹介動画

[EBIC and EBAC result overlays]

[Resistive Contrast Imaging (aka Electron Beam absorbed Current, EBAC)]

[EBIC at high bias voltages]

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