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FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ(ACT)

FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ(ACT)はX、Z、回転、および傾斜の4つの動作軸を備えたポジショニングツールで、サンプルを±90度傾けることができ、さらにFIB/SEMの試料ステージを使用してステージ全体をFIB角度に傾けることができます。
ACTの傾斜軸がFIB/SEMのステージによって電子ビームの中心に置かれた後、対象領域を所定の位置に移動し(X)、回転させて向きを調整し(R)、傾斜軸まで持ち上げる(Z)ことで真のユーセントリック傾斜を実現できます。ACTを利用することで横断面またはTEM切片を生成しながら、集束イオンビームに垂直な軸上で試料を前後に揺動させることが可能です。傾斜プラットフォームには0.1度分解能の位置エンコーダが取り付けられています。
 可動範囲  X = 10 mm、Z = 3 mm、
 R = 360度(無制限)、T=±90度(エンコーダー付き)
 絶対精度  T <0.2度(3x10–3 rad)
 分解能  直線軸 <0.05 nm、回転軸 <4 x 10–7 度(6.5 x 10–9 rad)
 繰返し精度  T <0.03度(4x10–4 rad)
 速度  1 mm/s(最大)
 ドリフト  <1.5 nm/min

 

FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ(ACT)/カタログダウンロード

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