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ユーセントリック5軸ステージ(E5AT)

ユーセントリック5軸ステージ(E5AT)は、サンプルを無制限に回転させ、対象領域をユーセントリック位置に維持しながら、サンプルを±90度に傾斜できるように設計された5軸ポジショニングツールです。このシステムは、傾斜プラットフォームに取り付けられた小さな4軸サブステージで構成されています。サブステージは、XおよびY方向に10 mm x 10 mm、Z方向に3 mmの可動範囲を持ちます。さらに、回転軸によりサンプルを無制限に360度回転させることができます。傾斜プラットフォームには、0.1度の分解能を持つ位置エンコーダが取り付けられています。
 サイズ  72 mm(L) × 50 mm(W) × 44 mm(H)
 可動範囲  X,Y = 10 mm、Z = 3 mm、
 R = 360度(無制限、エンコーダー付きオプション有)、
 T=±90度(エンコーダー付き)
 絶対精度  T <0.2度(3x10–3 rad)、
 R(エンコーダー付きオプションの場合) <0.2度(3x10–3 rad)
 分解能  直線軸 <0.05 nm、回転軸 <4 x 10–7 度(6.5 x 10–9 rad)
 繰返し精度  T <0.03度(4x10–4 rad)
 速度  1 mm/s(最大)
 ドリフト  <1.5 nm/min

 

 【アプリケーション】

 ● 電子チャネリングコントラストイメージング(ECCI)
 ● 電子後方散乱回折(EBSD)
 ● トモグラフィー
 …その他、サンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション

 

ユーセントリック5軸ステージ(E5AT)/カタログダウンロード

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