- コーティング装置以外に必要なものは何ですか？
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ロータリーポンプ、スパッタリング用・ベント用ガスをご用意下さい。
・ ロータリーポンプは、弊社で準備することも可能です。 お客様にご準備頂いても構いません。※
・ スパッタリングをご使用の場合、アルゴンガス（純度99.999%以上（高純度ガス推奨）をご用意下さい。
精密レギュレータ 二次側圧力 0.5bar（=0.05MPa） （1bar（=0.1MPa）を超えないこと）
接続チューブ 外径Φ6mm
・ ベントガスをご用意下さい。 アルゴンガスを分岐してご使用頂くことも可能です。（分岐コネクタ付属）
別に、窒素ガス（純度99.999%以上）をご使用頂く場合、合わせて下記をご用意下さい。
精密レギュレータ 二次側圧力 0.5bar（=0.05MPa） （1bar（=0.1MPa）を超えないこと）
接続チューブ 外径Φ6mm
・ 電源 AC100V 50/60Hz 15A ロータリーポンプ（弊社推奨品）を含む電源容量は、1,400VAです。
電源ケーブル（3P：2m）は付属します。
※お客様にてポンプをご準備される場合は、コーティング装置本体のポンプ制御電流に影響する可能性がありますので、ご検討時にお問合せ下さい。
- 容量の大きなロータリーポンプを使用出来ますか？
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使用可能です。
ただ、ポンプモーターの最大サイズは、コーター内のポンプリレーのスイッチング容量によって制限されます。最大サイズは約2kWです。ただし、ポンプ速度も最大真空圧も、機器に付属のポンプの速度を超えて改善される可能性はほとんどありません。
お客様にてポンプをご準備される場合は、コーティング装置本体のポンプ制御電流に影響する可能性がありますので、ご検討時にお問合せ下さい。
- SEM観察において試料にスパッタを行うメリットは何ですか？
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下記のメリットがございます。
・ 絶縁物試料のチャージアップ(帯電)を防止する。
・ 電子線による熱ダメージを低減する。
・ 二次電子の放出率を高める。
・ 簡単*に高分解像が得られる。 アプリケーション紹介ページで比較をご覧いただけます。*低真空SEMで無コーティング観察した場合との比較
- 高真空(ターボ分子ポンプ内蔵)モデルのコーティング装置のメリットは何ですか？
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低真空タイプと比較して、下記のメリットがございます。
・ 貴金属だけでなく酸化するターゲットのコーティングが可能。
・ コーティングプロセスにかかる時間の短縮。
・ 高品質な成膜が可能。
機能と特長の詳細はこちら。
- Q300TTはトリプルターゲットとありますが、3種類のターゲットを装着できるのですか？
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いいえ。Q300TTは同じ種類のターゲットを3枚装着することで、最大8inchサイズまで大型試料のスパッタに対応した装置です。
3元でのスパッタはできませんのでご留意ください。
Q300TDでは、2種類の異なるターゲットを装着しての連続スパッタが可能です。Q300TDの場合、試料サイズはφ6inchまでとなります。
- スパッタリングにアルゴンガスが必要なのはなぜですか？
- スパッタリングする場合、酸化を防ぎ、スパッタ速度を向上させるためにアルゴンガスが不可欠です。
- Q150 Plusチャンバーに大きなサンプル(ウエハ)を収めることはできますか？
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Q150 Plusには4インチウェーハステージ＋ギアボックスのステージオプションが用意されています。
4インチサイズがQ150 Plusチャンバーに収められる最大サイズです。
その他、多種ステージオプションがあります。機能と特長にてご紹介しております。
機能と特長の詳細はこちら。
- FTM（オプション）の水晶振動子を異なるターゲットで使用できますか？
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はい、できます。
ただし、異なるターゲットで使用すると、水晶振動子の寿命が短くなるため、短い周期で交換が必要です。
- 単機能モデル（例:Q150TS,TE Plus）をマルチ仕様にアップグレードすることはできますか？
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いいえ。
技術的には可能ですが、必要な作業時間・コストの面から非経済的になります。
スパッタリングとカーボン蒸着の両方をご検討の場合は、マルチタイプ［ES］を推奨しております。
- Q PlusシリーズのコーターにFTMを後から取り付けることはできますか？
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はい、できます。
チャンバーのベースプレートにはBNCソケットが標準で搭載されており、これをサポートするためのハードウェアとソフトウェアが予め用意されています。
