マイクロ加熱・冷却ステージ（MHCS）

  マイクロ加熱・冷却ステージ（MHCS）は、SEM/FIBに小型の冷却ステージを追加するためのスタンドアロンシステムです。

  MHCSには、付属の温度制御システムを使用して設定された温度を維持するために、統合された冷却・加熱・検知システムが搭載されています。
  付属のソフトウェアを使用すると、運転温度プロファイルを設定できるだけでなく、後の参照のために設定値と測定値を記録できます。システムは水冷を必要としません。

  既存のマイクロマニピュレータシステムにMHCSを追加してアップグレードすることが可能です。

  ・Kleindie社 総合カタログ（マイクロマニピュレータ）

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