Glow Discharge System for TEM grids 
    TEM グリッド用プラズマ処理システム
   
GloQube®は、TEMサポートフィルムやグリッド親水化用のコンパクトで、使い易い
グロー ディスチャージ システムです。
他の用途としては、ポリマーの接着強度を高めるための表面改質などがあります。

GloQubeには2つのモデルがあります。
GloQube-Dは、親水性/疎水性変換用クリーンチャンバーおよび親水性/疎水性
(負または正)変換用に設計されたガスチャンバーの2つの独立したチャンバー構成です。
GloQube-Sは、クリーンチャンバーを備えたシングルタイプです。

製品の特徴
 ・ デュアルチャンバータイプとシングルチャンバータイプ
 ・ 親水化/疎水化 または ネガティブ/ポジティブモード変更
 ・ 全自動で短いプロセスモード
 ・ タッチスクリーンからの直感的な操作
 ・ 安全なセプタムシール容器からのガス供給方式
 ・ チャンバー間のクロスコンタミ防止用バルブ
 ・ 迅速で簡単な試料ローディング
 ・ サンプルに配慮したベントコントロール
 ・ 3年保証及びスペシャリストによるサポート
 

プラズマ処理機能は、Q150やQ300 シリーズの"S" または"TES"にアタッチメントを取り付けて行うことも可能です。
ミニスパッター SC7620はモード切り替えのみでプラズマ処理機能が使用可能です。


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PP3010T
クライオ装置


Q300TT
φ300mm 大型チャンバー
トリプル スパッターコーター


Q300TD
φ300mm 大型チャンバー
デュアル スパッターコーター


Q300TES
φ300mm 大型チャンバー
マルチコーター


Q150TES
φ150mm チャンバー
マルチコーター


SC7620
ミニ スパッターコーター
プラズマ処理







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