Glow Discharge System for TEM grids 
    TEM グリッド用プラズマ処理システム
   
GloQube®は、TEMサポートフィルムやグリッド親水化用のコンパクトで、使い易い
グロー ディスチャージ システムです。
他の用途としては、ポリマーの接着強度を高めるための表面改質などがあります。

GloQubeには2つのモデルがあります。
GloQube-Dは、親水性/疎水性変換用クリーンチャンバーおよび親水性/疎水性
(負または正)変換用に設計されたガスチャンバーの2つの独立したチャンバー構成です。
GloQube-Sは、クリーンチャンバーを備えたシングルタイプです。

製品の特徴
 ・ デュアルチャンバータイプとシングルチャンバータイプ
 ・ 親水化/疎水化 または ネガティブ/ポシティブモード変更
 ・ 全自動で短いプロセスモード
 ・ タッチスクリーンからの直感的な操作
 ・ 安全なセプタムシール容器からのガス供給方式
 ・ チャンバー間のクロスコンタミ防止用バルブ
 ・ 迅速で簡単な試料ローディング
 ・ サンプルに配慮したベントコントロール
 ・ 3年保証及びスペシャリストによるサポート


プラズマ処理機能は、Q150やQ300 シリーズの"S" または"TES"にアタッチメントを取り付けて行うことも可能です。
ミニスパッター SC7620はモード切り替えのみでプラズマ処理機能が使用可能です。


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仕様

プラズマ出力 および プロセス設定

  GloQube-S   GloQube-D  
プラズマ 電流 1-40 mA 

高圧出力 30 W

最大電圧 
800 V


電極極性: クリーンチャンバー DC glow positive, DC glow negative


電極極性: ベーパー チャンバー DC glow positive, DC glow negative
NA
試料ステージ 125 x 100 mm ( 25 x 75 mmのスライド2枚) 
x 1 x 2
試料ステージ高さ 調整可能な12.5mm, 22.5mm, 35mm 


ポンプ ホールド時間 0-24 hours


プロセス時間 1-600 seconds


安全

                                                            

GloQube-S GloQube-D
 チャンバー ベント 吸入口 外気導入部にフィルターを設け、ベント時の試料への影響を最小限にしています。 x 1 x 2
試薬容器の取付
危険を回避するため、試薬は再利用可能な密閉タイプのバイアル瓶に入ってます。
NA
高電圧用インターロック 安全性を重視したハードウェアによるインターロックと
ソフトウェアによるプロセスコントロール


真空排気

                                                               GloQube-S GloQube-D
真空計                 ピラニ ゲージ           x 1 x 2 
使用時の真空範囲 0.1 ~ 1 mbar

必要な真空ポンプ 6 m3/hr, 3600 l/m, 到達真空 0.03 mbar

真空引き時間 60秒以内 (使用時の真空0.27mbarになるまでの時間)

真空分離                  チャンバー変更時の相互汚染を避けるためアイソレーションバルブ使用 x 1 x 2

ユーザーインターフェース

                                                                                                      GloQube-S  GloQube-D
ユーザー インターフェース
タッチスクリーンからのGUIによる操作
表示機能: プロファイル、実行中のプロファイル、
パラメータ、ヘルプ、メンテナンス情報


プロファイルの作成、保存 ユーザープロファイルを100個保存可能
 (name, date, time, vacuum, current and polarity)


外形寸法 および 通信機能

 *: ポンプデータは Pfeiffer DUO 6 を使用した場合

 
GloQube-S    
GloQube-D  
チャンバーサイズ     100 mm W x 100 mm H x 127 mm D  x 1   x 2
装置サイズ/重量
336 mm H x 364 mm D 19.5 kg (GloQube-D)
350 W
366 W
ポンプサイズ/重量 391 mm W x 127 mm D x 177 mm H 16 kg

設置サイズ(ポンプ含む) 366 mm W x 600 mm D x 336 mm H


供給電力 120 V 60 Hz, 15 A or 230 V 50 Hz, 10 A

消費電力 100-240 VAC 60/50 Hz 700 VA (ポンプ含む)

ポンプの消費電力 115/230 V 60/50 Hz 450 W

通信機能
ソフトウェア アップデート用イーサーネットポート







PP3010T
クライオ装置


Q300TT
φ300mm 大型チャンバー
トリプル スパッターコーター



Q300TD
φ300mm 大型チャンバー
デュアル スパッターコーター



Q300TES
φ300mm 大型チャンバー
マルチコーター



Q150TES
φ150mm チャンバー
マルチコーター



SC7620
ミニ スパッターコーター
プラズマ処理


Q150GB
グローブボックス用Q150


GloQube®
プラズマ処理システム

K1050
RFプラズマ処理システム


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