商品詳細 | イメージ | オプション | 仕様 | ダウンロード |
プラズマ出力 および プロセス設定
GloQube-S | GloQube-D | ||
プラズマ 電流 | 1-40 mA | √ |
√ |
高圧出力 | 30 W | √ |
√ |
最大電圧 |
800 V |
√ |
√ |
電極極性: クリーンチャンバー | DC glow positive, DC glow negative |
√ |
√ |
電極極性: ベーパー チャンバー | DC glow positive, DC glow negative |
NA | √ |
試料ステージ | 125 x 100 mm ( 25 x 75 mmのスライド2枚) |
x 1 | x 2 |
試料ステージ高さ | 調整可能な12.5mm, 22.5mm, 35mm |
√ |
√ |
ポンプ ホールド時間 | 0-24 hours |
√ |
√ |
プロセス時間 | 1-600 seconds |
√ |
√ |
安全
|
GloQube-S | GloQube-D | |
チャンバー ベント 吸入口 | 外気導入部にフィルターを設け、ベント時の試料への影響を最小限にしています。 | x 1 | x 2 |
試薬容器の取付 |
危険を回避するため、試薬は再利用可能な密閉タイプのバイアル瓶に入ってます。
|
NA | √ |
高電圧用インターロック | 安全性を重視したハードウェアによるインターロックと ソフトウェアによるプロセスコントロール |
√ |
√ |
GloQube-S | GloQube-D |
||
真空計 | ピラニ ゲージ | x 1 | x 2 |
使用時の真空範囲 | 0.1 ~ 1 mbar | √ |
√ |
必要な真空ポンプ | 6 m3/hr, 3600 l/m, 到達真空 0.03 mbar | √ |
√ |
真空引き時間 | 60秒以内 (使用時の真空0.27mbarになるまでの時間) | √ |
√ |
真空分離 | チャンバー変更時の相互汚染を避けるためアイソレーションバルブ使用 | x 1 | x 2 |
GloQube-S | GloQube-D | ||
ユーザー インターフェース |
タッチスクリーンからのGUIによる操作
表示機能: プロファイル、実行中のプロファイル、
パラメータ、ヘルプ、メンテナンス情報 |
√ |
√ |
プロファイルの作成、保存 | ユーザープロファイルを100個保存可能 (name, date, time, vacuum, current and polarity) |
√ |
√ |
*: ポンプデータは Pfeiffer DUO 6 を使用した場合
GloQube-S |
GloQube-D |
||
チャンバーサイズ | 100 mm W x 100 mm H x 127 mm D | x 1 | x 2 |
装置サイズ/重量 |
336 mm H x 364 mm D 19.5 kg (GloQube-D)
|
350 W
|
366 W |
ポンプサイズ/重量 | 391 mm W x 127 mm D x 177 mm H 16 kg | √ |
√ |
設置サイズ(ポンプ含む) | 366 mm W x 600 mm D x 336 mm H |
√ |
√ |
供給電力 | 120 V 60 Hz, 15 A or 230 V 50 Hz, 10 A | √ |
√ |
消費電力 | 100-240 VAC 60/50 Hz 700 VA (ポンプ含む) | √ |
√ |
ポンプの消費電力 | 115/230 V 60/50 Hz 450 W | √ |
√ |
通信機能 |
ソフトウェア アップデート用イーサーネットポート
|
√ |
√ |