コンタミネーション予防＆除去
表面処理（接着性の向上、親水化処理）
電子線を用いた「表面観察/分析装置」「加工/描画装置」、「真空成膜装置」でのコンタミネーション※を低減し、装置性能を最大限に引き出します。
※本装置における「コンタミネーション」は電子線照射により真空チャンバー内の残留ガス分子(炭化水素)が試料などの表面で重合して堆積される汚染膜を意図します。残留異物や微粒子(ほこり）を指すものではありません。
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リモートプラズマクリーナー |
卓上型プラズマクリーナー |
ターボ分子ポンプ領域で運転可 |
Dualプラズマソース |
腐食性ガス使用可 |
３つのクリーニングモード |
低粒子汚染（低PWP） |
マスフローコントローラ |
プラズマ発光強度センサー内蔵 |
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秀逸なユーザーI/Fデザイン |
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原理・主な使用方法 ▶ 基本性能 ▶ アプリケーション例 ▶
リモートプラズマクリーナー
 EM-KLEEN |
分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、 ソースはFE-SEM やXPS、EPMA などの試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ 
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卓上型プラズマクリーナー
 Tergeo-EM |
ラボ向けAll in one マルチユース対応。Dualプラズマソース内蔵で、 試料や目的に応じて「ソフトクリーニング」 「高速・ハードクリーニング」の2つのモードが選択できます。
分析試料やTEM用カーボン支持膜のPreクリーニング（コンタミ予防）から、 濃厚なコンタミネーションの積極的な除去クリーニングまで、1台で様々なニーズに対応します。 ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ |
TEMホルダー真空保管ステーション
 TEM STORAGE STATION |
TEMホルダー真空保管ステーションは、最大6本のTEMホルダー・サンプルを真空下で保管することができます。
分析前のサンプルからのアウトガスを最小限に抑え、クリーンな状態に保ちます。 ・TEMホルダー真空保管ステーション カタログ |
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