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プラズマクリーナー(有機系コンタミネーション予防&除去ツール)

 

コンタミネーション予防&除去


表面処理(接着性の向上、親水化処理)

 

電子線を用いた「表面観察/分析装置」「加工/描画装置」、「真空製膜装置」でのコンタミネーションを低減し、装置性能を最大限に引き出します。

※本装置における「コンタミネーション」は電子線照射により真空チャンバー内の残留ガス分子(炭化水素)が試料などの表面で重合して堆積される汚染膜を意図します。残留異物や微粒子(ほこり)を指すものではありません。

 

リモートプラズマクリーナー

卓上型プラズマクリーナー

ターボ分子ポンプ領域で運転可
Dualプラズマソース
腐食性ガス使用可
3つのクリーニングモード
低粒子汚染(低PWP)
マスフローコントローラ
プラズマ発光強度センサー内蔵
秀逸なユーザーI/Fデザイン

 

原理・主な使用方法 ▶   基本性能 ▶   アプリケーション例 ▶

 

 

リモートプラズマクリーナー


EM-KLEEN
分離されたプラズマソースとコントローラで構成され、 ソースはFE-SEM やXPS、EPMA などの試料チャンバーもしくは試料交換室などに接続されます。
接続された試料チャンバーやチャンバー内の試料をプラズマクリーニングすることで、 高真空装置におけるカーボン系コンタミネーションを予防・除去します。
 

  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ

 

卓上型プラズマクリーナー


Tergeo-EM
ラボ向けAll in one マルチユース対応。Dualプラズマソース内蔵で、 試料や目的に応じて「ソフトクリーニング」 「高速・ハードクリーニング」の2つのモードが選択できます。
分析試料やTEM用カーボン支持膜のPreクリーニング(コンタミ予防)から、 濃厚なコンタミネーションの積極的な除去クリーニングまで、1台で様々なニーズに対応します。
 

  ・PIE Scientific社 プラズマクリーナー カタログ

 

TEMホルダー真空保管ステーション


TEM STORAGE STATION
TEMホルダー真空保管ステーションは、最大6本のTEMホルダー・サンプルを真空下で保管することができます。
分析前のサンプルからのアウトガスを最小限に抑え、クリーンな状態に保ちます。
 

  ・TEMホルダー真空保管ステーション カタログ

 


 

製品に関してのお問い合わせ
弊社では、各製品のカタログや資料をご用意しております。
デモ機在庫の有る製品も御座いますので、不明な点や価格的なご質問と共にお問い合わせよりご連絡下さい。
現在お客様の方で考えられているご使用目的、必要スペック、PC環境等を合わせてご連絡頂ければ該当する商品担当者よりご提案させて頂きます。 (お探しの商品が見付からない場合はお気軽にお問い合わせ下さい。)