Q150 Plus シリーズ

超微細コーティング
タングステン（W）の超微粒子コーティングにも対応

マルチコーター
1台で スパッタリング＆カーボン蒸着 に対応

●　Q150V Plus　　　　　 ・個別カタログ

高真空（TMP搭載）・酸化しやすいターゲットにも対応

Q150V Plus特設ページへ　▶

●　Q150T Plus　　　　　 ・個別カタログ

高真空（TMP搭載）・酸化しやすいターゲットにも対応

●　Q150R Plus

低真空・スパッタは貴金属のみ対応

※1　プラグイン式インサートの交換による

※　 プラグイン式インサートの交換（オプション）で真空蒸着、
　　 アパーチャークリーニングに対応可。（Q150VE/VES、Q150TE/TESのみ）

●　Q150GB　グローブボックス組込用　スパッタモジュール

コーター本体・制御スクリーン・ 電源ボックスをモジュール設計し、本体をグローブボックス内に組込むことを可能にしました。
グローブボックス床面をコーター本体のサイズに切り抜き、そこにガスケットを介して本体を嵌めこみます。
制御は大気側に置かれるタッチパネルスクリーンからリモートで行われ、電源モジュールと真空ポンプはグローブボックスの下側に置かれます。
コーターの基本仕様はQ150T ES Plusと同等です。