デュアルターゲット搭載 Q300TD Plus
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トリプルターゲット搭載 Q300TT Plus
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マルチコーター Q300TES Plus
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● Q300TD Plus ・個別カタログ
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● Q300TT Plus ・個別カタログ
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● Q300TES Plus
マルチコーター（スパッタリング＆カーボン蒸着＆真空蒸着） |
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| ①チャンバーサイズ | ：［300］内径 300mm |
| ②真空ポンプ仕様 | ：［T］ターボ分子ポンプ搭載 高真空仕様 |
| 到達真空度 5×10-5mbar | |
| ③成膜モード | ：［D］デュアルターゲット搭載（2元） スパッタリング専用 |
| ：［T］トリプルターゲット搭載（1元） スパッタリング専用 | |
| ：［ES］マルチ（スパッタリングandカーボン蒸着and真空蒸着）※1 | |
| ※1 プラグイン式インサートの交換による | |
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【標準付属ステージ】 |
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Q300TD Plus：スイングアーム付4インチウェハステージ Q300TT Plus：8インチウェハステージ Q300TES Plus：50mmステージ |
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注記 Q300TD Plusは、 2種類の異なるターゲットを装着して、大気非暴露で最大5層までの連続スパッタが可能です。試料サイズはφ6インチまでとなります。 Q300TT Plusは、同じ種類のターゲットを3枚装着することで、最大8インチサイズまで大型試料・複数試料のスパッタに対応した装置です。3種類のターゲットが実装出来るものではありません。 |
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＜カタログ＞
・Quorum Technologies 社 Q Plusシリーズ卓上型コーティング装置 カタログ 
・Quorum Technologies 社 Q300TD Plus カタログ
・Quorum Technologies 社 Q300TT Plus カタログ
Quorum Technologies社 ハイブリットコーター（スパッター・カーボンコーター）・クライオSEMシステム
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